Titancarbid-Titannitrid ist eine Hochtemperatur-CVD-Schicht. Bei dieser Variante findet TiN als obenliegende Funktionsschicht Verwendung. Sie wird durch eine extrem harte und, besonders bei Stahlwerkstoffen mit hohem C-Gehalt, durch chemische Bindungen fest am Grundwerkstoff anhaftende TiC-Unterlage gestützt.